Die mikroskopische Röntgenfluoreszenzanalyse (Micro-XRF oder µXRF) verwendet Röntgenstrahlen, um die räumliche Verteilung von Haupt-, Neben- und Spurenelementen in einer Probe zu bestimmen. Durch Platzieren einer zweiten Optik vor dem energiedispersiven Detektor ist es möglich, ein präzises Messmikrovolumen zu erzeugen (Abb.1). Die Volumengröße liegt im Mikrometerbereich. Dieses Volumen kann dann entweder senkrecht zur Oberfläche in der obersten Schicht durch die Probe gescannt werden, um 2D-Informationen zu erhalten, oder sogar in die Probe hinein, um 3D-Informationen über die Elementverteilung zu erhalten (Abb. 2). Dies ermöglicht direkte 3D-Messungen ohne Rekonstruktionsalgorithmen. Diese Methode kann entweder im Labor unter Verwendung einer Röntgenröhre oder für noch bessere Ergebnisse (kleinere Volumengröße und niedrigere Nachweisgrenzen) in einer Synchrotronanlage verwendet werden.

Overlapping foci of the x-ray optics creating the measurement micro volume

© Atominstitut

Overlapping foci of the x-ray optics creating the measurement micro volume.

3D-Scan eines Cu-Drahtkreuzes (rot) auf einem mit Klebeband (blau) fixierten Gd-Sieb (gelb). Scangröße: 230 x 230 x 230 µm³

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3D-Scan eines Cu-Drahtkreuzes (rot) auf einem mit Klebeband (blau) fixierten Gd-Sieb (gelb). Scangröße: 230 x 230 x 230 µm³