Das Projekt

Das „Projekt Noreia“ berechtigt zum Entwurf und zur Entwicklung einer hochentwickelten PVD-Beschichtungsanlage, die modernste Entwicklungen in den Bereichen Automatisierung und Steuerung sowie Beschichtungstechniken berücksichtigt. Die Konstruktion und Entwicklung erfolgt in einem Rahmen zwischen dem Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnologie (Prof. Paul H. Mayrhofer) und der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Wien. Ziel des hochmodernen Konzepts ist es, die Vorteile industrieller Beschichtungsanlagen und Systeme im Labormaßstab zu verbinden, um ein ideales Setup für eine anwendungsorientierte Beschichtungsentwicklung bereitzustellen.

Industrielle Prozesse werden immer durch hohe Abscheidungsraten und optimale Targeterosion qualifiziert, die stark mit erhöhten Targetleistungsdichten und zumindest größeren Targetgeometrien verbunden ist.Beschichtungssysteme im Labormaßstab zeichnen sich durch Ultrahochvakuum (UHV)-Bedingungen und eine große Vielfalt an Prozesssteuerung sowie individueller Target-Versorgung und -Positionierung aus, um unterschiedlichste Beschichtungsarchitekturen abzuscheiden. Noreia vereint all diese Aspekte in einem System.

Darüber hinaus ist Noreia mit hochmodernen Magnetronsystemen ausgestattet, die von High Power Impulse Magnetron Sputter (HiPIMS)-Generatoren angetrieben werden, um die Vorteile von DC-Magnetron-Sputtern und Lichtbogenverdampfung ohne deren Nachteile von Schatteneffekten und Makropartikeln zu kombinieren. Ein Schleusensystem bietet die Möglichkeit für einen einfachen Substratwechsel sowie UHV-Bedingungen. Um die Abscheidungsparameter wie Vorspannung oder Substrattemperatur und damit die Filmeigenschaften präzise zu beeinflussen, ist Noreia mit einem innovativen Substratheiz- und Stromversorgungssystem ausgestattet, um die Keimbildung und das Filmwachstum zu steuern.

Alle Abscheidungsparameter wie Targetversorgung, Substratheizung, Gasfluss, Druckregelung, Kühlsystem usw. werden über eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) gesteuert, um dem Benutzer den höchstmöglichen Komfort bei der Verwendung sowie eine größtmögliche Einflussfreiheit zu bieten Ablagerungsprozess.

Weitere Details zum Konzept und zum aktuellen Projektstand finden Sie unter Konzept und News.

Fünf Monate in fünf Minuten! Noreia ist bereit für die Arbeit!