Die Auger Elektronen Spektroskopie (AES) ist eine Methode zur Oberflächenanalyse, welche sich den Auger Effekt zunutze macht. Analysiert werden die von der Probe emittierten Elektronen, welche nach der initialen Anregung eine Serie innerer Relaxationen erfahren.

Der Auger-Effekt wurde in den 1920ern unabhängig von einander sowohl von Lise Meitner, als auch Pierre Auger beschrieben. Obwohl Meitner den Effekt zuerst beschrieb und 1922 in der Zeitschrift für Physik publizierte, wird der Effekt von der wissenschaftlichen Gemeinschaft  Auger zugeschrieben.

Das 710 Auger Nanoprobe konnte in 2022 aus FFG Mitteln zur Forschungs- & Entwicklungs-Infrastrukturförderung, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster im Rahmen des ELSA Projektes angeschafft werden. Es kombiniert ein hochauflösendes SEM (< 5 nm) mit einem hochauflösendem Augerelektronenspektrometer (< 10 nm). Die Kombination dieser Techniken ermöglicht das Erstellen von Elementverteilungen an der Oberfläche von Materialien im Nanometerbereich, welche mit SEM-Bildern verglichen werden können. Dadurch können kleinste Strukturen, wie z.B. in Form von Defekten, erkannt und chemisch analysiert werden.  

Das am AIC verfügbare AES erlaubt außerdem Materialschnitte mit der FIB (Fokussierter Ionen Strahl) und Elementanalyse mittels EDS (Energiedispersive Spektroskopie). Eine Vielzahl an Proben kann hinsichtlich der Zusammensetzung von Dünnschichten und Grenzflächen analysiert werden, zusätzlich sind Informationen über den Bindungszustand von z.B. Metallen und Legierungen erhältlich.