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© Dr. Georg Pfusterschmied
SiC Technologie
Dr. Georg Pfusterschmied
Georg Pfusterschmied studierte Materialwissenschaften an der Technischen Universität Wien mit Schwerpunkt auf funktionale Werkstoffe sowie Mikro- und Nanotechnologie. Einen wesentlichen Teil seiner Masterarbeit absolvierte er an der University of Toronto (Kanada), wo er sich mit mikrotechnologisch hergestellten piezoelektrischen Dünnschicht-Aktoren und -Sensoren befasste. Im Rahmen seiner Dissertation an der TU Wien forschte er an Design, Herstellung und Charakterisierung von mikrotechnologisch gefertigten Flüssigkeitssensoren. Ein mehrmonatiger Forschungsaufenthalt führte ihn an die University of Melbourne (Australien), wo er in der Arbeitsgruppe von Prof. John Sader theoretische Modelle mikrofluidischer Wechselwirkungen und deren Anwendung auf Flüssigkeitssensoren untersuchte. Für seine Dissertation wurde er mit dem renommierten Dr. Ernst Fehrer-Preis, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster ausgezeichnet.
Nach Abschluss der Promotion setzte er seine Forschung am Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme der TU Wien fort, wo er eigenständig zahlreiche Drittmittelprojekte akquirierte und leitete – darunter Förderungen der EU, der FFG, der Christian Doppler Gesellschaft (CDG) sowie direkte Kooperationen mit Industriepartnern. Seit dem 1. Jänner 2023 ist er wissenschaftlicher Leiter des Christian-Doppler-Labors für Nachhaltige Siliciumcarbid Technologie, das sich mit der ressourceneffizienten Nutzung von Siliciumcarbid (SiC) beschäftigt.
Seit dem 1. Jänner 2025 ist Georg Pfusterschmied im Rahmen des Exzellenzlaufbahnprogramms der TU Wien auf einer Tenure-Track-Position tätig. Seine aktuelle Forschung fokussiert sich auf Dünnschichttechnologien, Mikro- und Nanostrukturierung sowie die werkstoffwissenschaftliche Weiterentwicklung von Siliciumcarbid für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik und Leistungselektronik. Ein besonderer Fokus liegt auf der Überführung materialwissenschaftlicher Erkenntnisse in technologieorientierte Anwendungen.
Er ist Autor und Koautor zahlreicher wissenschaftlicher Publikationen, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster, tritt regelmäßig auf internationalen Fachkonferenzen auf, betreut Master- und Doktorarbeiten wirkt als Gutachter für wissenschaftliche Journale und engagiert sich in der universitären Selbstverwaltung.
Laufende Forschungsprojekte
Abgeschlossene Forschungsprojekte
Pubkikationen
2024
- | Bulk acoustic wave—Solidly mounted resonator with a-SiOCN:H as low-Z material auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterBerger, C., Schiek, M., Pandit, S., Schneider, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). Bulk acoustic wave—Solidly mounted resonator with a-SiOCN:H as low-Z material. Journal of Applied Physics, 136(14), 1–11. https://doi.org/10.1063/5.0226103
- | Functionalization of three-dimensional epitaxial graphene with metal nanoparticles auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPompei, E., Vlamidis, Y., Ferbel, L., Zannier, V., Rubini, S., Esteban, D. A., Bals, S., Marinelli, C., Pfusterschmied, G., Leitgeb, M., Schmid, U., Heun, S., & Veronesi, S. (2024). Functionalization of three-dimensional epitaxial graphene with metal nanoparticles. Nanoscale, 16(34), 16107–16118. https://doi.org/10.1039/d4nr01986e
- | K-3. DFT calculations on the surface termination of 4H-SiC {10-10} and {11-20} during photoelectrochemical pore formation auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterYang, T., Perazzi, M., Leitgeb, M., Zellner, C., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024, September). K-3. DFT calculations on the surface termination of 4H-SiC {10-10} and {11-20} during photoelectrochemical pore formation. ICSCRM 2024: International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Raleigh, United States of America (the).
- | A Novel Approach for Thin 4H-SiC Foil Realization Using Controlled Spalling from a 4H-SiC Wafer auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterWahid, S. N., Leitgeb, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). A Novel Approach for Thin 4H-SiC Foil Realization Using Controlled Spalling from a 4H-SiC Wafer. Materials Science Forum, 1124, 35–41. https://doi.org/10.4028/p-8AEonP
- | Modeling polycrystalline diamond MEMS resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterGesing, A. L., Huber, D., Steinmüller-Neth, D., Pfusterschmied, G., Platz, D., & Schmid, U. (2024). Modeling polycrystalline diamond MEMS resonators. In 19th International Workshop on Nanomechanical Sensing (pp. 114–114).
- | Grain Size Dependent Q-Factor in Polycrystalline Diamond MEMS Resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterHuber, D., Platz, D., Loch Gesing, A., Fulmek, P., Steinmüller-Nethl, D., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024, June). Grain Size Dependent Q-Factor in Polycrystalline Diamond MEMS Resonators. MESS24 - Microelectronic Systems Symposium, Wien, Austria.
- | A Novel Method of Creating Thin 4H-SiC Foils from 4H-SiC Substrates by Controlled Spalling auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterWahid, S., Leitgeb, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024, June). A Novel Method of Creating Thin 4H-SiC Foils from 4H-SiC Substrates by Controlled Spalling. MESS24 - Microelectronic Systems Symposium, Wien, Austria.
- | On the Use of Spectroscopic Imaging Ellipsometry for Quantification and Characterisation of Defects in Thin Films for Power Electronics auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterErmilova, E., Klapetek, P., Pfusterschmied, G., Nanjappan, C., Schmid, U., & Hertwig, A. (2024, May 29). On the Use of Spectroscopic Imaging Ellipsometry for Quantification and Characterisation of Defects in Thin Films for Power Electronics. EMRS Spring Meeting 2024 - ALTECH 2024, Strasbourg, France.
- | Polycrystalline Lpcvd 3c-Sic Thin Films on Sio2 Using Alternating Supply Deposition auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMoll, P., Schwarz, S., Pfusterschmied, G., Artner, W., & Schmid, U. (2024). Polycrystalline Lpcvd 3c-Sic Thin Films on Sio2 Using Alternating Supply Deposition. Journal of Microelectromechanical Systems, 1–9. https://doi.org/10.34726/7319
- | Plasma-enhanced chemical vapor deposition a-SiOCN:H low-Z thin films for bulk acoustic wave resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterBerger, C., Schneider, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). Plasma-enhanced chemical vapor deposition a-SiOCN:H low-Z thin films for bulk acoustic wave resonators. Journal of Applied Physics, 135(16), 1–10. https://doi.org/10.1063/5.0197261
- | Impact of alternating precursor supply and gas flow on the LPCVD growth behavior of polycrystalline 3C-SiC thin films on Si auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMoll, P., Pfusterschmied, G., Schwarz, S., Stöger-Pollach, M., & Schmid, U. (2024). Impact of alternating precursor supply and gas flow on the LPCVD growth behavior of polycrystalline 3C-SiC thin films on Si. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 372, 1–9. https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115376
- | Impact of Grain Size on The Q-Factor of Poly-Crystalline Diamond Mems Resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterHuber, D., Platz, D., Gesing, A. L., Fulmek, P., Steinmüller-Nethl, D., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). Impact of Grain Size on The Q-Factor of Poly-Crystalline Diamond Mems Resonators. In Proceedings of the 2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (pp. 915–918). IEEE. https://doi.org/10.1109/MEMS58180.2024.10439421
- | Impact of Excess Carbon at the 3C-SiC/SiO₂ Interface Using LPCVD-Based Alternating Supply Deposition auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMoll, P., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). Impact of Excess Carbon at the 3C-SiC/SiO₂ Interface Using LPCVD-Based Alternating Supply Deposition. In IEEE Xplore (Ed.), Proceedings of the 2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (pp. 606–609). IEEE. https://doi.org/10.1109/MEMS58180.2024.10439413
- | High-temperature adhesive bonding of 4H-SiC substrates auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterParmar, P. M., Leitgeb, M., Yadav, M. K., Zellner, C., Wedl, G., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). High-temperature adhesive bonding of 4H-SiC substrates. ICSCRM 2024: INTERNATIONAL CONFERENCE ON SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2024, Raleigh, United States of America (the).
- | High-Temperature Reorganization Behavior of Single-Crystalline Porous 4H-SiC Thin Foils auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPerazzi, M., Leitgeb, M., Vengattoor Raghu, A., Zellner, C., Hahn, R., Kirnbauer, A., Schwarz, S., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2024). High-Temperature Reorganization Behavior of Single-Crystalline Porous 4H-SiC Thin Foils. Materials Science Forum, 1124, 43–49. https://doi.org/10.4028/p-D0xoyc
2023
- | Three-dimensional graphene on a nano-porous 4H-silicon carbide backbone: a novel material for food sensing applications auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterVeronesi, S., Vlamidis, Y., Ferbel, L., Marinelli, C., Sanmartin, C., Taglieri, I., Pfusterschmied, G., Leitgeb, M., Schmid, U., Mencarelli, F., & Heun, S. (2023). Three-dimensional graphene on a nano-porous 4H-silicon carbide backbone: a novel material for food sensing applications. Journal of the Science of Food and Agriculture, 1–11. https://doi.org/10.1002/jsfa.13118
- | A Novel Approach for Thin 4H-SiC Foil Realization using Controlled Spalling from a 4H-SiC Wafer auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterWahid, S., Leitgeb, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2023, September 21). A Novel Approach for Thin 4H-SiC Foil Realization using Controlled Spalling from a 4H-SiC Wafer. ICSCRM 2023 . International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Sorrento, Italy.
- | Hydrogen absorption in a novel three-dimensional graphene structure: Towards hydrogen storage applications auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterVeronesi, S., Aureliano, A. M., Vlamidis, Y., POMPEI, E., Pfusterschmied, G., Leitgeb, M., Schmid, U., & Heun, S. (2023, September 4). Hydrogen absorption in a novel three-dimensional graphene structure: Towards hydrogen storage applications. CMD30 FisMat 2023, Milan, Italy.
- | High-temperature Reorganization Behavior of Porous 4H-SiC Thin Foils auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPerazzi, M., Leitgeb, M., Pfusterschmied, G., Vengattoor Raghu, A., Schmid, U., Zellner, C., Schwarz, S., Hahn, R., & Kirnbauer, A. (2023, September). High-temperature Reorganization Behavior of Porous 4H-SiC Thin Foils. ICSCRM2023 - International Conference on Silicon Carbide and Related Materials, Sorrento, Italy.
- | Electrical Characterization of the SiO₂/4H-SiC Interface auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterNanjappan, C., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2023). Electrical Characterization of the SiO₂/4H-SiC Interface. In Sensor and Measurement Science International (SMSI 2023) (pp. 235–236). https://doi.org/10.5162/SMSI2023/D5.3
- | The gas-liquid-Q-factor-inversion in MEMS plate resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterGesing, A., Tran, T., Huber, D., Steinmüller-Nethl, D., Pfusterschmied, G., Schneider, M., Platz, D., & Schmid, U. (2023). The gas-liquid-Q-factor-inversion in MEMS plate resonators. Journal of Sound and Vibration, 559, Article 117777. https://doi.org/10.1016/j.jsv.2023.117777
- | Study of hydrogen absorption in a novel three-dimensional graphene structure: Towards hydrogen storage applications auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMacili, A., Vlamidis, Y., Pfusterschmied, G., Leitgeb, M., Schmid, U., Heun, S., & Veronesi, S. (2023). Study of hydrogen absorption in a novel three-dimensional graphene structure: Towards hydrogen storage applications. Applied Surface Science, 615, Article 156375. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.156375
- | Robust Polycrystalline 3C-Sic-on-Si Heterostructures with Low CTE Mismatch up to 900 °C for MEMS auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMoll, P., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2023). Robust Polycrystalline 3C-Sic-on-Si Heterostructures with Low CTE Mismatch up to 900 °C for MEMS. In 2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (pp. 590–593). IEEE. https://doi.org/10.1109/MEMS49605.2023.10052144
2022
- | Biocompatible a-SiC:H-Based Bistable MEMS Membranes With Piezoelectric Switching Capability in Fluids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMoll, P., Pfusterschmied, G., Schneider, M., Dorfmeister, M., Knafl, S., Wanzenböck, H., & Schmid, U. (2022). Biocompatible a-SiC:H-Based Bistable MEMS Membranes With Piezoelectric Switching Capability in Fluids. Journal of Microelectromechanical Systems, 31(3), 372–383. https://doi.org/10.1109/JMEMS.2022.3163477
- | 3D arrangement of epitaxial graphene conformally grown on porousified crystalline SiC auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterVeronesi, S., Pfusterschmied, G., Fabbri, F., Leitgeb, M., Arif, O., Esteban, D. A., Bals, S., Schmid, U., & Heun, S. (2022). 3D arrangement of epitaxial graphene conformally grown on porousified crystalline SiC. Carbon, 189, 210–218. https://doi.org/10.1016/j.carbon.2021.12.042
- | Functional Silicon Oxide Nanolayers for Temperature Sensing on 4H-SiC auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterFleckl, G., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2022). Functional Silicon Oxide Nanolayers for Temperature Sensing on 4H-SiC. 2022 MRS Fall Meeting, Boston, United States of America (the).
- | SiC Process Technologies for MEMS auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterSchmid, U., Schneider, M., Leitgeb, M., & Pfusterschmied, G. (2022). SiC Process Technologies for MEMS. MNE 2022 - Eurosensors, Leuven, Belgium.
2021
- | Communication-Current Oscillations in Photoelectrochemical Etching of Monocrystalline 4H Silicon Carbide auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterLeitgeb, M., Pfusterschmied, G., Schwarz, S., Depuydt, B., Cho, J., & Schmid, U. (2021). Communication-Current Oscillations in Photoelectrochemical Etching of Monocrystalline 4H Silicon Carbide. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 10(7), 073003. https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac10b3
- | Piezoelectric Switching of Bistable MEMS Membranes in Fluids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterMoll, P., Pfusterschmied, G., Schneide, M., Dorfmeister, M., & Schmid, U. (2021). Piezoelectric Switching of Bistable MEMS Membranes in Fluids. In 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), online, Unknown. IEEE. https://doi.org/10.1109/mems51782.2021.9375163
- | Impact of Ar+ bombardment of 4H-SiC substrates on Schottky diode barrier heights auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Triendl, F., Schneider, M., & Schmid, U. (2021). Impact of Ar+ bombardment of 4H-SiC substrates on Schottky diode barrier heights. Materials Science in Semiconductor Processing, 123(105504), 105504. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2020.105504
- | Ti/4H-SiC schottky barrier modulation by ultrathin a-SiC:H interface layer auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Berger, C., Schwarz, S., Artner, W., & Schmid, U. (2021). Ti/4H-SiC schottky barrier modulation by ultrathin a-SiC:H interface layer. Thin Solid Films, 721(138539), 138539. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138539
- | Growth and characterization of low pressure chemical vapor deposited Si on Si-face 4H-SiC auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Pobegen, G., Schwarz, S., Artner, W., Konrath, J. P., & Schmid, U. (2021). Growth and characterization of low pressure chemical vapor deposited Si on Si-face 4H-SiC. Materials Science in Semiconductor Processing, 131(105888), 105888. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.105888
- | Si/4H-SiC heterostructure formation using metal-induced crystallization auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Schwarz, S., Artner, W., & Schmid, U. (2021). Si/4H-SiC heterostructure formation using metal-induced crystallization. Materials Science in Semiconductor Processing, 128(105763), 105763. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.105763
- | Barrier height tuning by inverse sputter etching at poly-Si/4H-SiC heterojunction diodes auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Schwarz, S., Pobegen, G., Konrath, J. P., & Schmid, U. (2021). Barrier height tuning by inverse sputter etching at poly-Si/4H-SiC heterojunction diodes. Semiconductor Science and Technology, 36(5), 055021. https://doi.org/10.1088/1361-6641/abf29b
2020
- | Sound dissipation from plate-type resonators excited in non-conventional transversal modes in liquids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Weinmann, C., Schneider, M., Platz, D., Shen, N., Sader, J., & Schmid, U. (2020). Sound dissipation from plate-type resonators excited in non-conventional transversal modes in liquids. Journal of Micromechanics and Microengineering, 30(7), 075004. https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab8bc9
- | High Performance Piezoelectric MEMS Resonators in Fluids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterSchmid, U., Hafner, J., Pfusterschmied, G., Platz, D., & Schneider, M. (2020). High Performance Piezoelectric MEMS Resonators in Fluids. XXII. Linz Winter Workshop 2020, Linz, Austria.
- | High performance piezoelectric AlN MEMS resonators for precise sensing in liquids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterSchneider, M., Pfusterschmied, G., Patocka, F., & Schmid, U. (2020). High performance piezoelectric AlN MEMS resonators for precise sensing in liquids. Elektrotechnik Und Informationstechnik, 137(3), 121–127. https://doi.org/10.1007/s00502-020-00794-w
- | MEMS Sensoren in hochviskosen Flüssigkeiten - Hohe Gütefaktoren durch maßgeschneiderte, piezoelektrische Resonatoren auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterSchneider, M., Pfusterschmied, G., Patocka, F., & Schmid, U. (2020). MEMS Sensoren in hochviskosen Flüssigkeiten - Hohe Gütefaktoren durch maßgeschneiderte, piezoelektrische Resonatoren. GIT, 64. JAHRGANG(4–5), 36–38.
- | On the crystallization behavior of sputter-deposited a-Si films on 4H-SiC auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Fleckl, G., Schwarz, S., & Schmid, U. (2020). On the crystallization behavior of sputter-deposited a-Si films on 4H-SiC. Thin Solid Films, 697(137837), 137837. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2020.137837
- | Theoretical and experimental investigations of barrier height inhomogeneities in poly-Si/4H-SiC heterojunction diodes auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Pobegen, G., Konrath, J. P., & Schmid, U. (2020). Theoretical and experimental investigations of barrier height inhomogeneities in poly-Si/4H-SiC heterojunction diodes. Semiconductor Science and Technology, 35(11), 115011. https://doi.org/10.1088/1361-6641/abae8d
- | Low-temperature epitaxial Si on 4H-SiC using metal-induced crystallization auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Pfusterschmied, G., Zellner, C., Artner, W., Hradil, K., & Schmid, U. (2020). Low-temperature epitaxial Si on 4H-SiC using metal-induced crystallization. Materials Letters: X, 6, Article 100040. https://doi.org/10.1016/j.mlblux.2020.100040
2019
- | Switching performance of bistable membranes activated with integrated piezoelectric thin film transducers auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterDorfmeister, M., Kössl, B., Schneider, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2019). Switching performance of bistable membranes activated with integrated piezoelectric thin film transducers. Journal of Micromechanics and Microengineering. https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab3185
- | Responsivity and sensitivity of piezoelectric MEMS resonators athigher order modes in liquids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Patocka, F., Weinmann, C., Schneider, M., Platz, D., & Schmid, U. (2019). Responsivity and sensitivity of piezoelectric MEMS resonators athigher order modes in liquids. Sensors and Actuators A: Physical, 295, 84–92. https://doi.org/10.1016/j.sna.2019.05.031
- | Sensing Fluid Properties of Super High Viscous Liquids Using Non-Conventional Vibration Modes in Piezoelectrically Excited MEMS Resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Weinmann, C., Hospodka, M., Hofko, B., Schneider, M., & Schmid, U. (2019). Sensing Fluid Properties of Super High Viscous Liquids Using Non-Conventional Vibration Modes in Piezoelectrically Excited MEMS Resonators. In 2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Seoul, Korea (the Republic of). IEEE. https://doi.org/10.1109/memsys.2019.8870897
- | Bestimmung der dynamischen Viskosität von Bitumenderivaten bis 64000 mPa∙s mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Weinmann, C., Schneider, M., Hospodka, M., Mirwald, J., Hofko, B., & Schmid, U. (2019). Bestimmung der dynamischen Viskosität von Bitumenderivaten bis 64000 mPa∙s mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren. In MikroSystemTechnik Kongress 2019 - Proceedings (pp. 320–323). VDE Verlag GMBH.
- | Evaluation of interface trap characterization methods in 4H-SiC metal oxide semiconductor structures over a wide temperature range auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterTriendl, F., Fleckl, G., Schneider, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2019). Evaluation of interface trap characterization methods in 4H-SiC metal oxide semiconductor structures over a wide temperature range. Journal of Vacuum Science & Technology B, 37(3), 032903. https://doi.org/10.1116/1.5094137
2018
- | Performance of thin AlxOy, SixNy and AlN passivation layers for high temperature SAW device applications auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterGillinger, M., Knobloch, T., Markovic, A., Pfusterschmied, G., Schneider, M., & Schmid, U. (2018). Performance of thin AlxOy, SixNy and AlN passivation layers for high temperature SAW device applications. Materials Science in Semiconductor Processing, 81, 1–6. https://doi.org/10.1016/j.mssp.2018.02.028
- | Q-factor enhancement of piezoelectric MEMS resonators in liquidswith active feedback auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterFischeneder, M., Kucera, M., Hofbauer, F., Pfusterschmied, G., Schneider, M., & Schmid, U. (2018). Q-factor enhancement of piezoelectric MEMS resonators in liquidswith active feedback. Sensors and Actuators B: Chemical, 260, 198–203. https://doi.org/10.1016/j.snb.2018.01.001
- | Modelling Fluid Damping of Non-Conventional Vibration Modes in MEMS Resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPlatz, D., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2018). Modelling Fluid Damping of Non-Conventional Vibration Modes in MEMS Resonators. In EUROSENSORS 2018. Eurosensors 2018, Graz, Austria. MDPI. https://doi.org/10.3390/proceedings2130896
- | Theoretical Framework for modelling the fluid-structure interaction of complex MEMS/NEMS resonator eigenmodes auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPlatz, D., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2018). Theoretical Framework for modelling the fluid-structure interaction of complex MEMS/NEMS resonator eigenmodes. In Proceedings of the Euromech Colloquium 603 (pp. 38–40). Universidade do Porto, Reitoria.
- | Calibration procedure for piezoelectric MEMS resonators to determine simultaneously density and viscosity of liquids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Ruiz-Díez, V., Pfusterschmied, G., Schmid, U., & Sánchez-Rojas, J. L. (2018). Calibration procedure for piezoelectric MEMS resonators to determine simultaneously density and viscosity of liquids. Microsystem Technologies, 24(3), 1423–1431. https://doi.org/10.1007/s00542-017-3536-0
- | Flow-through sensor based on piezoelectric MEMS resonator for thein-line monitoring of wine fermentation auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Ruiz-Díez, V., Pfusterschmied, G., Schmid, U., & Sánchez-Rojas, J. L. (2018). Flow-through sensor based on piezoelectric MEMS resonator for thein-line monitoring of wine fermentation. Sensors and Actuators B: Chemical, 254, 291–298. https://doi.org/10.1016/j.snb.2017.07.096
2017
- | Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Steindl, W., Bittner, A., Schneider, M., & Schmid, U. (2017). Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren. In MikroSystemTechnik Kongress 2017 - Proceedings (pp. 183–186). VDE Verlag GMBH.
- | Two-step Procedure for Multi-Mode MEMS Resonator-Based Sensing of Fluid Properties auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Weinmann, C., Schneider, M., Bittner, A., Sànchez-Rojas, J. L., & Schmid, U. (2017). Two-step Procedure for Multi-Mode MEMS Resonator-Based Sensing of Fluid Properties. In IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 2017 (pp. 1013–1016). IEEE.
- | Potential of Piezoelectric MEMS Resonators for Grape Must Fermentation Monitoring auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Toledo, J., Kucera, M., Steindl, W., Zemann, S., Ruiz-Díez, V., Schneider, M., Bittner, A., Sanchez-Rojas, J., & Schmid, U. (2017). Potential of Piezoelectric MEMS Resonators for Grape Must Fermentation Monitoring. Micromachines, 8(7), 200. https://doi.org/10.3390/mi8070200
- | Fluid-structure interaction modelling of the roof tile-shaped modes in piezoelectric plate microresonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterRuiz-Díez, V., Toledo, J., Hernando-Garcia, J., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2017). Fluid-structure interaction modelling of the roof tile-shaped modes in piezoelectric plate microresonators. In Proc. SPIE 10246, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VIII (p. 9). SPIE.
- | Piezoelectric MEMS: Material Aspects and Devices auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterSchneider, M., Mayrhofer, P., Gillinger, M., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2017). Piezoelectric MEMS: Material Aspects and Devices. AMA Conferences 2017 - SENSOR 2017 and IRS2 201, Nürnberg, Germany.
- | Characterization of oscillator circuits for monitoring the density-viscosity of liquids by means of piezoelectric MEMS microresonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Ruiz-Díez, V., Pfusterschmied, G., & Schmid, U. (2017). Characterization of oscillator circuits for monitoring the density-viscosity of liquids by means of piezoelectric MEMS microresonators. In Proc. SPIE 10246, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VIII (p. 11). SPIE.
- | Wine Fermentation Sensor Based on Piezoelectric Resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Ruiz-Díez, V., Sànchez-Rojas, J. L., Pfusterschmied, G., Schneider, M., & Schmid, U. (2017). Wine Fermentation Sensor Based on Piezoelectric Resonators. In IEEE Sensors 2017 - Proceedings (pp. 1–3). IEEE.
2016
- | Roof tile-shaped modes in quasi free-free supported piezoelectric microplate resonators in high viscous fluids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Steindl, W., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Bittner, A., Schneider, M., Sànchez-Rojas, J. L., & Schmid, U. (2016). Roof tile-shaped modes in quasi free-free supported piezoelectric microplate resonators in high viscous fluids. Sensors and Actuators B: Chemical, 237, 999–1006. https://doi.org/10.1016/j.snb.2016.02.029
- | Wine Fermentation Monitoring Using Piezoelectric MEMS Resonators auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Toledo, J., Steindl, W., Ruiz-Díez, V., Bittner, A., Schneider, M., Sànchez-Rojas, J. L., & Schmid, U. (2016). Wine Fermentation Monitoring Using Piezoelectric MEMS Resonators. In Proceedings of the 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (μTAS 2016) (p. 2). IEEE.
- | Modelling and Characterization of the Roof tile-shaped Modes of AlN-based Cantilever Resonators in Liquid Media auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterRuiz-Díez, V., Hernando-García, J., Toledo, J., Manzaneque, T., Kucera, M., Pfusterschmied, G., Schmid, U., & Sánchez-Rojas, J. L. (2016). Modelling and Characterization of the Roof tile-shaped Modes of AlN-based Cantilever Resonators in Liquid Media. Journal of Micromechanics and Microengineering, 26(8), 084008. https://doi.org/10.1088/0960-1317/26/8/084008
- | Comparison of in‑plane and out‑of‑plane piezoelectric microresonators for real‑time monitoring of engine oil contamination with diesel auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Jimenez-Molinos, F., Kucera, M., Pfusterschmied, G., Wistrela, E., Schmid, U., & Sànchez-Rojas, J. L. (2016). Comparison of in‑plane and out‑of‑plane piezoelectric microresonators for real‑time monitoring of engine oil contamination with diesel. Microsystem Technologies, 22, 1781–1790.
- | Piezoelectric resonators and oscillator circuit based on higher-order out-of-plane modes for density-viscosity measurements of liquids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Kucera, M., Pfusterschmied, G., Wistrela, E., Schmid, U., & Sánchez-Rojas, J. L. (2016). Piezoelectric resonators and oscillator circuit based on higher-order out-of-plane modes for density-viscosity measurements of liquids. Journal of Micromechanics and Microengineering, 26(8), 084012. https://doi.org/10.1088/0960-1317/26/8/084012
2015
- | Characterization of a roof tile-shaped out-of-plane vibrational mode in aluminum-nitride-actuated self-sensing micro-resonators for liquid monitoring purposes auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterKucera, M., Wistrela, E., Pfusterschmied, G., Ruiz-Díez, V., Sànchez-Rojas, J. L., Schalko, J., Bittner, A., & Schmid, U. (2015). Characterization of a roof tile-shaped out-of-plane vibrational mode in aluminum-nitride-actuated self-sensing micro-resonators for liquid monitoring purposes. Applied Physics Letters, 107, 0535061–0535065. https://doi.org/10.1063/1.4928429
- | Characterisation of multi roof tile-shaped out-of-plane vibrational modes in aluminiumnitride- actuated self-sensing micro-resonators in liquid media auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterKucera, M., Wistrela, E., Pfusterschmied, G., Ruiz-Díez, V., Sánchez-Rojas, J. L., Schalko, J., Bittner, A., & Schmid, U. (2015). Characterisation of multi roof tile-shaped out-of-plane vibrational modes in aluminiumnitride- actuated self-sensing micro-resonators in liquid media. Applied Physics Letters, 107(5), 053506. https://doi.org/10.1063/1.4928429
- | Multi Roof Tile-Shaped Vibration Modes In Mems Cantilever Sensors For Liquid Monitoring Purposes auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Ruiz-Díez, V., Bittner, A., Sànchez-Rojas, J. L., & Schmid, U. (2015). Multi Roof Tile-Shaped Vibration Modes In Mems Cantilever Sensors For Liquid Monitoring Purposes. In MEMS 2015 (pp. 718–721). IEEE.
- | Temperature dependent performance of piezoelectric MEMS resonators for viscosity and density determination of liquids auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Wistrela, E., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Sánchez-Rojas, J. L., Bittner, A., & Schmid, U. (2015). Temperature dependent performance of piezoelectric MEMS resonators for viscosity and density determination of liquids. Journal of Micromechanics and Microengineering, 25(10), 105014. https://doi.org/10.1088/0960-1317/25/10/105014
- | Piezoelectric Response Optimization of Multi Roof-Tile Modes in MEMS Resonators by Variation of the Support Boundary Conditions auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterPfusterschmied, G., Kucera, M., Wistrela, E., Steindl, W., Ruiz-Díez, V., Bittner, A., Sànchez-Rojas, J. L., & Schmid, U. (2015). Piezoelectric Response Optimization of Multi Roof-Tile Modes in MEMS Resonators by Variation of the Support Boundary Conditions. In Proceedings of the 18th International Conference On Solid State Sensors and Actuators - Transducers 2015 (pp. 969–972). IEEE.
- | Oscillator Circuit Based On Higher-Order Out-Of-Plane Piezoelectric Resonators For Density-Viscosity Sensing Up To 0.5 Pa·s auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Kucera, M., Pfusterschmied, G., Wistrela, E., Schmid, U., & Sànchez-Rojas, J. L. (2015). Oscillator Circuit Based On Higher-Order Out-Of-Plane Piezoelectric Resonators For Density-Viscosity Sensing Up To 0.5 Pa·s. In MME 2015 - 26th MicroMechanics Europe Workshop. MME 2015 - 26th MicroMechanics Europe Workshop, Toledo, Spanien, EU.
- | Out-of-plane Piezoelectric Microresonator and Oscillator Circuit for Monitoring Engine Oil Contamination with Diesel auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Kucera, M., Pfusterschmied, G., Wistrela, E., Schmid, U., & Sànchez-Rojas, J. L. (2015). Out-of-plane Piezoelectric Microresonator and Oscillator Circuit for Monitoring Engine Oil Contamination with Diesel. In Proc. of SPIE Vol. 9517-9520 (p. 9). SPIE.
- | Piezoelectric MEMS Resonators for Density and Viscosity Sensing in Engine Oil with Diesel Fuel auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterToledo, J., Manzaneque, T., Ruiz-Díez, V., Kucera, M., Pfusterschmied, G., Wistrela, E., Steindl, W., Schmid, U., & Sànchez-Rojas, J. L. (2015). Piezoelectric MEMS Resonators for Density and Viscosity Sensing in Engine Oil with Diesel Fuel. In Proceedings of the 18th International Conference On Solid State Sensors and Actuators - Transducers 2015 (pp. 436–439). IEEE.
2014
- | Characterization of a roof tile-shaped out-of-plane vibrational mode in aluminum-nitride-actuated self-sensing micro-resonators for liquid monitoring purposes auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterKucera, M., Wistrela, E., Pfusterschmied, G., Ruiz-Díez, V., Manzaneque, T., Luis Sánchez-Rojas, J., Schalko, J., Bittner, A., & Schmid, U. (2014). Characterization of a roof tile-shaped out-of-plane vibrational mode in aluminum-nitride-actuated self-sensing micro-resonators for liquid monitoring purposes. Applied Physics Letters, 104(23), 233501. https://doi.org/10.1063/1.4882177
- | Design-dependent performance of self-actuated and self-sensing piezoelectric-AlN cantilevers in liquid media oscillating in the fundamental in-plane bending mode auf reposiTUm , öffnet eine externe URL in einem neuen FensterKucera, M., Wistrela, E., Pfusterschmied, G., Ruiz-Díez, V., Manzaneque, T., Hernando-Garcia, J., Sànchez-Rojas, J. L., Jachimowicz, A., Schalko, J., Bittner, A., & Schmid, U. (2014). Design-dependent performance of self-actuated and self-sensing piezoelectric-AlN cantilevers in liquid media oscillating in the fundamental in-plane bending mode. SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 200, 235–244.
Univ.Ass. Dipl.-Ing. Dr.techn.Georg Pfusterschmied