In dieser speziellen Vorlesung wird Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat. Ulrich Schmid (Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik) das Thema „Mikrosysteme - Unsichtbare Helfer mit hohem Wachstumspotential“ behandeln.

Nach einer kurzen Einführung ausgewählter Schwerpunkte stellt Prof. Schmid seine wissenschaftlichen Tätigkeiten der letzten Jahre vor. Dies umfasst die Realisierung eines robusten Sensorelementes, umgesetzt auf Basis der LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) Technologie, die komplett in eine Common-Rail Einspritzdüse integriert wurde. Die keramische Mehrlagentechnik ist ferner von hohem Interesse bei der Umsetzung eines kompakten Radarmoduls bei 79 GHz, das im automobilen Bereich zur Umfeld- und Umgebungssensorik und für luftfahrtbezogene Anwendungen zur Detektion von Wirbelschleppen verwendet werden soll. Neben der Mikro- und Nanoporosizierung der LTCC zur lokalen Modifikation dielektrischer Eigenschaften wird die Umsetzung eines neuartigen, hochtemperaturfesten RF-MEMS-Schaltelementes vorgestellt, das zur phasengerechten Ansteuerung von Antennenzeilen verwendet wird. Abschließend werden neuartige Ansätze zur Entwicklung von Drucksensoren für Mess-aufgaben bis 700°C für luftfahrtbezogene Anwendungen dargelegt. Als Substratmaterialien kommen Saphir und hochtemperaturstabile Nickelbasislegierungen zum Einsatz.

Curriculum vitae Ulrich Schmid:
Prof. Ulrich Schmid wurde am 25.3.1972 in München geboren. Von 1992 bis 1998 studierte er das Fach Diplom-Physik an der TU München, der Universität Kassel, der University of Nottingham und der Universität Frankfurt/Main. Seine Diplom- und Doktorarbeit fertigte er bei den Firmen DaimlerChrysler AG bzw. EADS Deutschland GmbH an. Von 2003 bis 2008 war er wissenschaftlicher Assistent am Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik an der Universität des Saarlandes. Seit 1.10.2008 leitet er an der TU Wien die Abteilung Mikrosystemtechnik am Institut für Sensor- u. Aktuatorsysteme.