Das Epsilon 5 ist ein kommerzielles EDXRF-Spektrometer von PANalytical. Es verwendet eine wassergekühlte Röntgenröhre mit einer Wolfram-Scandium-Anode und einem mit flüssigem Stickstoff gekühlten Germanium-Detektor. Durch den leistungsstarken Generator (max. 100kV, 24mA, 600W) und neun Sekundärtargets kann ein breites Spektrum an Elementen (Magnesium bis Uran) bestimmt werden.

Die Probe wird durch die Strahlung des sekundären Targets angeregt. Es gibt zwei verschiedene Arten von Sekundärzielen. Fluoreszierende Targets nutzen die charakteristische Strahlung des Elements im Target, um die Probe anzuregen. Barkla Targets nutzen die gestreute Röhrenstrahlung. Aufgrund der Polarisation reduziert der 3D-Strahlengang den spektralen Hintergrund im Vergleich zum 2D-Aufbau.

Alle Messungen werden unter Vakuumbedingungen durchgeführt. Das Spektrometer ist mit einem automatischen Probenwechsler ausgestattet. Das E5 kann gepresste Pellets oder Glasperlen bis zu einem Durchmesser von 50 mm messen.

Die Software bietet eine Peak-Search-and-Match-Routine für das Spektrum. Neben der qualitativen Analyse besteht die Möglichkeit, Standards oder die AutoQuantify-Software zur Quantifizierung zu verwenden. Die Software bietet auch verschiedene Matrixkorrekturmodelle an.