Die Elektronenspektroskopie ist eine spektroskopische Methode zur Materialanalyse. Grundlage ist die Entfernung von Elektronen aus den äußeren Schalen der Atomhülle. Der Begriff dient auch als Sammelbezeichnung für Analyseverfahren, bei denen durch eingestrahlte Elektronen, UV- oder Röntgenstrahlung Elektronen aus inneren Schalen entfernt werden. Die kinetische Energie dieser Elektronen wird anschließend direkt gemessen oder aus Folgeprozessen mit Sekundärelektronenemission oder Strahlung ermittelt. Dazu wird mit Hilfe eines Elektronenspektrometers die Stärke eines Elektronenstromes abhängig von der kinetischen Energie der Elektronen ermittelt.

Am AIC sind folgende drei Elektronenspektrometer verfügbar:

• u-Fokus mit Phoibos WAL Analysator
• Versaprobe III mit Gas-Cluster-Ionen Quelle
• PHI 710 mit EDS und FIB