Die Laserlithographieanlage

Das fke betreibt eine HEIDELBERG DWL 66 fs-Laserlithographieanlage zur Herstellung von 3-Zoll-Masken für die optische Lithographie.

Bevor Sie auch nur daran denken, eine Maske zu zeichnen, lesen Sie zuerst diese Regeln!!!

Wenn Sie dann noch Interesse an einer optischen Maske haben, setzen Sie sich mit Markus Schinnerl in Verbindung.

Der Maskenentwurf

Für die Maskenherstellung wird eine Zeichnung im AutoCAD DXF-Format für AutoCAD Version 12 benötigt. Diese Datei wird dann in ein Format übersetzt, das mit unserem Laser Writer kompatibel ist. Die Gestaltungsregeln des Konvertierungsprogramms finden Sie hier: P:\PUBLIC\HIMT_DWL66

Beachten Sie diese Richtlinien für das Maskendesign, um eine korrekte Übersetzung zu gewährleisten, sowie die folgenden zusätzlichen Vorschriften, die sich teilweise aus der am FKE verwendeten Hardware ergeben:

1.  Maskengröße: 3 Zoll. Im Prinzip ist jede Maskengröße bis 6" möglich, aber wir haben keine anderen Maskenrohlinge als 3" auf Lager.
2.  Der Punkt (0,0) in AutoCAD stellt den Mittelpunkt der Maske dar. Zentrieren Sie Ihre Zeichnung um diesen Punkt!
3. Bei 3"-Maskenrohlingen sollten die Strukturen in einem 4,5 x 4,5 cm großen Quadrat enthalten sein, das um (0,0) zentriert ist. Zusätzlicher Text kann außerhalb dieses Bereichs eingefügt werden. Wenn Sie einen größeren Bereich für Ihr Design verwenden, sollten Sie bedenken, dass Sie möglicherweise nicht den gesamten Designbereich nutzen können, da das Fenster des Plattenhalters der Mask Aligner die Größe von 4,5 x 4,5 cm begrenzt.
4. Verwenden Sie nicht die Ebene 0. Legen Sie Ihr gesamtes Design in eine Ebene (vorzugsweise Ebene 1). Löschen Sie alle anderen Ebenen, die während des Zeichnens verwendet werden. Wenn Sie keine Ebenen löschen können, löschen Sie den Inhalt aller unnötigen Ebenen. Wenn sich Ihr Entwurf NICHT in Ebene 1 befindet, müssen Sie dies mitteilen!
5.  Verwenden Sie für Ihre Zeichnung nur geschlossene Figuren wie Rechtecke und Polylinien mit Null-Linienbreite. Eine einzelne Linie oder ein Punkt hindert das Übersetzungsprogramm daran, seine Arbeit zu vollenden. Wenn Sie mit Polylinien arbeiten, achten Sie darauf, dass Sie nicht in einem Zug auf derselben Linie vor- und zurückgehen - auch hier wird das Konvertierungsprogramm nicht funktionieren. Eine Linie kann nicht als Teil der Begrenzung von zwei verschiedenen Figuren verwendet werden. Stellen Sie sicher, dass zwei benachbarte Objekte jeweils vollständig sind. Verwenden Sie KEINE "speziellen" Funktionen wie Blöcke, Regionen,... auch wenn Sie dadurch viel Zeit sparen - das Konvertierungsprogramm wird NICHT funktionieren und Sie müssen die ganze Arbeit noch einmal auf die altmodische Weise machen -> Rechtecke, Polylinien - nichts anderes!
6. Wenn Sie nicht sicher sind, wie Sie ein bestimmtes Design zeichnen sollen, fragen Sie Markus Schinnerl.
7. Jede geschlossene Figur in deiner Zeichnung wird transparent sein, der Bereich außerhalb deiner geschlossenen Figuren wird undurchsichtig sein. Denken Sie daran, was Sie mit Ihrer Maske machen wollen - wenn Sie sie zum Abheben brauchen, müssen Sie sie höchstwahrscheinlich invertieren. Es ist auch möglich, eine Zeichnung während der Konvertierung zu invertieren, wenn es Ihnen also leichter fällt, Ihren Entwurf zu zeichnen, können Sie das auf diese Weise tun. Wenn Sie jedoch ein Negativbild des Musters benötigen, sollten Sie dies unbedingt angeben!
8. Inseln sind undurchsichtige Bereiche, die von transparenten Bereichen umgeben sind. Inseln können zwischen zwei oder mehr geschlossenen Figuren gebildet werden (dies ist die empfohlene Methode) oder mit einer einspringenden Polylinie. Es wird nur eine Insel pro Polylinie garantiert, die korrekt bricht.
9. Es besteht auch die Möglichkeit, einige XOR-Logiken in der Konvertierungssoftware anzuwenden. Wenn Sie z. B. ein kleines Rechteck in ein größeres Rechteck zeichnen und XOR wählen, wird der Bereich zwischen den beiden Rechtecken freigelegt und der Bereich innerhalb des kleinen Rechtecks bleibt unbelichtet. Beachten Sie jedoch, dass dies nur für den gesamten Entwurf gelten kann.
10. Der Text wird in eine Blockschrift umgewandelt und ist transparent. Es werden nur Buchstaben und Zahlen unterstützt, verwenden Sie keine Sonderzeichen.
11. Auch wenn Sie die obigen Anweisungen abgearbeitet haben: Bevor Sie sich an Ihren AutoCAD-Computer setzen und mit dem Zeichnen beginnen, wenden Sie sich an den Betreiber und teilen Sie ihm mit, was Sie wollen. (Die Fragen werden sein: Was sind die Abmessungen? Wie hoch sind die Präzisionsanforderungen? Benötigen Sie Ihre Maske für ein Lift-off-/Bildumkehrverfahren?)

DWL 66 fs Laserlithografiesystem

Das DWL 66FS ist ein hochauflösendes Belichtungssystem, bei dem mit einem beschreibbaren 25-Nanometer-Adressraster zur Belichtung von metallisierten Platten oder Wafern über eine Million dpi erreicht werden.

• Designdaten können mit jedem Programm im DXF- (bevorzugt), GDSII-, HPGL-, Gerber- oder CIF-Format erstellt werden und werden auf einer "CONVERT"-Workstation in ein LIC-Format umgewandelt. Die Übertragung der Konstruktionsdaten in das System erfolgt dann über eine FTP-Verbindung.
• Die Verschiebung der Aufnahmen auf der Platte erfolgt mit einem in X und Y positionierbaren Tisch, dessen Bewegung durch ein Lasermesssystem gesteuert wird. Der Laserschreiber wird von einem schwingungsisolierten Tisch getragen und ist in einer Umweltkammer untergebracht, um sicherzustellen, dass das Gerät während des Betriebs von einer ausreichenden Menge sauberer, temperaturgeregelter Luft durchströmt wird.
• Minimale Belichtungsgröße:
• Schreibkopf 2 mm: 0,6 μm
• Schreibkopf 4 mm: 1 μm Schreibkopf 10 mm: 2,5 μm