FEI Quanta 250 FEG mit AFM

FEG SEM Quanta 250 mit AFM
Ausstattung

Emitter: Schottky-FEG
Betriebsspannung: 0.2 - 30 kV
Strahlstrom: > 100 nA

  • ETD Sekundärelektronendetektor
  • in-lens BSE Detektor
  • GIS Detektor (für ESEM)
  • retractable STEM Detektor
  • NavCam
  • Beam Decelaration
  • EDX: EDAX-Ametec Octane Elite 55
  • OIM: Hikari CCD EBSD mit Forward Scatter Detektor
  • Picoindenter: Hysterion
  • AFM: GeTec AFSEM low noise, self sensing
Spezifikationen
  • Auflösung: 1.2 nm (30 kV, Hochvakuum)
  • Auflösung: 1.5 nm (30 kV, Niedervakuum/ESEM)
  • Auflösung: 3 nm (1 kV, Hochvakuum)
  • Auflösung: 3 nm (3 kV, Niedervakuum/ESEM)
Anwendungsgebiete
  • Hochauflösende rasterelektronenmikroskopische Untersuchung
  • Chemische Röntgenmikroanalyse
  • Strukturuntersuchungen mit EBSD
  • Untersuchung von nichtleitenden Proben im Niedervakuumbereich
  • Untersuchung von feuchten Proben bei Drücken bis 4000 Pa
  • in-situ Beobachtung mittels AFM der Firma GeTEC (AFSEM)
Besonderheiten
  • korrelative Mikroskopie mittels AFM der Firma GeTEC (AFSEM)

Geräteverantwortlicher

Portrait von Andreas Steiger-Thirsfeld