Emitter: Schottky-FEG
Betriebsspannung: 0.2 - 30 kV
Strahlstrom: > 100 nA

ETD Sekundärelektronendetektor
in-lens BSE Detektor
GIS Detektor (für ESEM)
retractable STEM Detektor
NavCam
Beam Decelaration

EDX: EDAX-Ametec Octane Elite 55
OIM: Hikari CCD EBSD mit Forward Scatter Detektor
Picoindenter: Hysterion
AFM: GeTec AFSEM low noise, self sensing

Auflösung: 1.2 nm (30 kV, Hochvakuum)
Auflösung: 1.5 nm (30 kV, Niedervakuum/ESEM)
Auflösung: 3 nm (1 kV, Hochvakuum)
Auflösung: 3 nm (3 kV, Niedervakuum/ESEM)

Hochauflösende rasterelektronenmikroskopische Untersuchung
Chemische Röntgenmikroanalyse
Strukturuntersuchungen mit EBSD
Untersuchung von nichtleitenden Proben im Niedervakuumbereich
Untersuchung von feuchten Proben bei Drücken bis 4000 Pa
in-sito Beobachtung mittels AFM der Firma GeTEC (AFSEM, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster)

korrelative Mikroskopie mittels AFM der Firma GeTEC (AFSEM, öffnet eine externe URL in einem neuen Fenster)