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Die Arbeitsgruppe "Functional Materials" des Institutes für Festkörperphysik der TU Wien beschäftigt sich mit den Grundlagen der Schichtabscheidung aus der Gasphase und mit der Übertragung experimenteller und theoretischer Ergebnisse in die Anwendung.

Die Anwendungen der Dünnschichttechnologie reichen von der Mikroelektronik über die Oberflächenvergütung bis hin zur Entwicklung neuer Werkstoffe. Verfahren zur Oberflächenmodifikation und Schichtabscheidung werden zunehmend in industrielle Produktionsabläufe integriert. Folgende Themen stehen im Fokus:

Wachstum polykristalliner Schichten - Kondensation und Benetzung - Heterogene Schichtsysteme  - Plasmabehandlung und Adhäsion  - Temperaturbehandlung und Entnetzung

Alle Forschungsresultate werden in enger Zusammenarbeit von permanent beschäftigten Wissenschaftlern, Doktoratsstudenten, Diplomstudenten und sonstigen temporären Mitgliedern der Gruppe erarbeitet.

Die Präsentation der Ergebnisse bei internationalen Konferenzen und die Veröffentlichung von Resultaten in referierten Zeitschriften ist sowohl für permanente wie auch temporäre Mitglieder der Arbeitsgruppe Functional Materials ein zentrales Thema ihrer Tätigkeit.