Bild zeigt eine dunkelhäutige Frau in Reinraumkleidung beim Hantieren einer Siliziumkarbid Probe

© Dr. Georg Pfusterschmied

SiC Technologie

Kurzbeschreibung

Laufende Forschungsprojekte

POWERELEC

ASDF

© Dr. Georg Pfusterschmied

Metrology in manufacturing compound semiconductors for power electronics

RESONANCE

Bild zeigt mehrere, drei-dimensionale Darstellungen von Teststrukturen sowie zwei-dimensionale Darstellungen einer Mikrostruktur

© Daniel Platz, PhD

High-performance polycrystalline materials for the next generation of MEMS timing devices

SICMICROHEATER

Bild zeigt eine Sputteranlage, bestehend aus einem großen Vakuumtopf aus Edelstahl zahlreichen Steuerungs- und Messeinheiten

© Dr. Georg Pfusterschmied

Next generation micro heaters based on polycrystalline 3C-SiC 

Abgeschlossene Forschungsprojekte

LOWLOSSMIRROR

wer

© ???

Niederimpedante Siliziumoxikarbid-Schichten für elektroakustische HF Filter